EUV

EUV

En d'autres termes

Extreme UltraViolet

Définition

Lithographie à faisceau ultraviolet haute fréquence permettant théoriquement d'atteindre des finesses de gravure de semiconducteurs inférieures à 0.1 micromètre.

En 2001, l'industrie des semi-conducteurs est supposée mettre cette technique en oeuvre à partir de 2005.

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